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发明名称 A DEFECT DETECTION DEVICE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 KR20060104359(A) 申请公布日期 2006.10.09
申请号 KR20050026473 申请日期 2005.03.30
申请人 CHUNGBUK NATIONAL UNIVERSITY INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION 发明人 KIM, KEUN SIK;PARK, KEUN HYUNG;KIM, YOUNG CHOL
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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