发明名称 PROBE DEVICE OF SEMICONDUCTOR WAFER INSPECTOR
摘要
申请公布号 KR20060104366(A) 申请公布日期 2006.10.09
申请号 KR20050026480 申请日期 2005.03.30
申请人 SEJI CO., LTD. 发明人 RYU, JAE EUN;YOU, SAE RON
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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