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经营范围
发明名称
WAFER TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20060104790(A)
申请公布日期
2006.10.09
申请号
KR20050027233
申请日期
2005.03.31
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
SHIN, GIL SUNG
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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