发明名称 |
晶片清洗及干燥装置 |
摘要 |
本发明揭示一种晶片清洗及干燥的装置。以自下方给水的开放式清洗槽的流场控制以产生扰流,并保持流速为常数的排液流速而得精准且连续的清洗及干燥装置。而干燥装置利用液态挥发性溶剂(例如,异丙醇,IPA)取代水的方式使晶片能快速并洁净地干燥。至少包含:一个清洗槽,一片溢流板,该溢流板向外倾斜一角度;多个溢流口,以快速排出污染物;多个进水口,凸入清洗槽中使进水形成扰流。垂直的进水口亦为排水口;多个流量控制阀,以程控流量,形成扰流,而协助晶片的清洗;排水时排水量受多个流量控制阀控制而保持一定流量,能平稳地排水,使液面稳定地下降。 |
申请公布号 |
CN1841670A |
申请公布日期 |
2006.10.04 |
申请号 |
CN200510059872.6 |
申请日期 |
2005.03.31 |
申请人 |
弘塑科技股份有限公司 |
发明人 |
黎源欣;吴志鸿;许扬诗;黄汉民 |
分类号 |
H01L21/302(2006.01);H01L21/304(2006.01);B08B3/00(2006.01);F26B5/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/302(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王学强 |
主权项 |
1.一种晶片清洗及干燥的装置,用以清洗晶片及以溶剂除去水分,至少包含:一个清洗槽,上有开口供溢流,下有多个进水口、多个排水口;一片溢流板,设于清洗槽上端的开口上;多个溢流口,设于溢流板上,以排出溢出的清洗液;其特征为:多个进水口由下方给水,该多个进水口,伸入清洗槽中以形成水柱,其中一部分水平设置,另一部分垂直设置,使进水形成扰流;多个流量控阀,连接至进水口,以程控流量,使进水量受控制以调整进水压力,形成扰流,其流场受到控制;扰流经一片层流板而形成层流以清洗晶片。 |
地址 |
台湾省新竹县新竹工业区大同路13号 |