| 发明名称 | 可变波长滤光器以及可变波长滤光器的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可防止从可变波长滤光器发射出的光衰减且相对于各种波长的光可进行波长分离的可变波长滤光器及其制造方法。其特征在于，具备：具有第一凹部(211)的固定基板(2)；与具备具有开口部分(311)的可动部(31)的固定基板(2)接合的可动基板(3)；用于覆盖开口部分(311)并接合到可动部(31)的透光基板(4)；在固定基板(2)上设置的固定反射膜(200)；在透光基板(4)上设置的隔开干涉用间隙(21)与固定反射膜(200)相对配置的可动反射膜(210)；通过相对于固定基板(2)改变可动部(31)的位置，来改变干涉用间隙(21)的间隔的驱动部，构成为：在固定反射膜(200)和可动反射膜(210)之间重复进行反射、且可向外部发射出与干涉用间隙21的间隔相对应的波长的干涉光。 | ||
| 申请公布号 | CN1841119A | 申请公布日期 | 2006.10.04 |
| 申请号 | CN200610079421.3 | 申请日期 | 2006.01.28 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社;思泰克株式会社 | 发明人 | 中村亮介;郑昌镐 |
| 分类号 | G02B26/00(2006.01);G01J3/26(2006.01) | 主分类号 | G02B26/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1、一种可变波长滤光器，具备：第一基板，其具有第一凹部；第二基板，其具备可动部和支撑部，且与所述第一基板接合，其中所述可动部在与所述第一凹部相对的位置上具有开口部分，所述支撑部可变位地支撑该可动部；第三基板，其具有透光性，按照位于与所述开口部分对应的部位的方式与所述可动部接合；固定反射膜，其设置在所述第一凹部的底部；可动反射膜，其设置在所述第三基板的所述第一凹部侧，且隔开干涉用间隙与所述固定反射膜相对配置；以及驱动部，其通过使所述可动部相对于所述第一基板变位，来变更所述干涉用间隙的间隔，在所述固定反射膜和所述可动反射膜之间反复地进行反射，产生干涉，可将与所述干涉用间隙的间隔相对应的波长的光向外部发射。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||