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发明名称 SEMI-CONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060103640(A) 申请公布日期 2006.10.04
申请号 KR20050025447 申请日期 2005.03.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SANG HO;LEE, SEUNG MOO;LEE, SU HO;KANG, DONG WOO;KIM, EUNG SU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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