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发明名称 Capacitance-type pressure sensor and its manufacture
摘要
申请公布号 EP1128174(B1) 申请公布日期 2006.10.04
申请号 EP20000118290 申请日期 2000.09.05
申请人 HITACHI, LTD.;HITACHI CAR ENGINEERING CO., LTD. 发明人 ONOSE, YASUO;WATANABE, ATSUO;KURYU, SEIJI;SATOU, SHINYA;HORIE, JUNICHI;SHIMADA, SATOSHI
分类号 G01L9/12;G01L1/14;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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