发明名称 |
传感器芯片、避免其污染的方法及附设加热器在其上的应用 |
摘要 |
在现有技术的传感器芯片上传感器区的范围中会沉积流动介质的污物并使该传感器区持续污染,这导致对膜的测量性能的不良影响。在根据本发明的传感器芯片(1)上设有一个附设加热器(39),它在上游相对传感器区(17)以一明显的距离设置。这将导致:流动介质的污物沉积在附设加热器(39)的区域中,即不再能到达传感器区(17)。 |
申请公布号 |
CN1278106C |
申请公布日期 |
2006.10.04 |
申请号 |
CN02800601.1 |
申请日期 |
2002.03.13 |
申请人 |
罗伯特·博施有限公司 |
发明人 |
汉斯·黑希特;乌韦·康策尔曼;托尔斯腾·舒尔茨 |
分类号 |
G01F1/684(2006.01) |
主分类号 |
G01F1/684(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
曾立 |
主权项 |
1.用于测量流动介质的至少一个参数的传感器芯片,它具有用于至少一个测量方法的传感器区,其特征在于:在传感器芯片(1)上设有至少一个附设加热器(39),它相对传感器区(17)以一定距离设置,及传感器区(17)与附设加热器(39)无关地工作。 |
地址 |
德国斯图加特 |