发明名称 光束定向模块以及使用了该模块的光开关
摘要 本发明提供在光开关中也能够适用的光束定向模块,提供能够高精度而且容易地进行准直仪阵列与可动反射镜阵列的相对的对位,组装容易而且低成本的模块,在支撑准直仪的准直仪支撑构件上,在分别设置于具备第1微反射镜和第1窗口的第1反射镜基板、第1反射镜驱动电极、具备第2窗口的第1电极基板、第1衬垫、具备第2微反射镜和第3窗口的第2反射镜基板、第2反射镜驱动电极、具备第4窗口的第2电极基板、第2衬垫、反射镜间衬垫上的对位用贯通孔中,贯穿从准直仪支撑构件突出的销,按照第1电极基板,第1衬垫,第1反射镜基板,反射镜间衬垫,第2反射镜基板,第2衬垫,第2电极基板的顺序叠层,夹在盖与准直仪支撑基板之间进行固定。
申请公布号 CN1278155C 申请公布日期 2006.10.04
申请号 CN200410063900.7 申请日期 2004.07.14
申请人 株式会社日立制作所 发明人 风间敦;福田和之;白松利也;堀野正也;伊藤康博
分类号 G02B6/26(2006.01);G02B6/35(2006.01);G02B6/00(2006.01);H04B10/12(2006.01) 主分类号 G02B6/26(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种光束定向模块,具备:具有连接到光纤上的多个准直透镜的准直仪支撑构件;具有多个第1反射镜的第1反射镜基板;在上述第1反射镜基板的与配置了上述准直仪支撑构件的一侧相反的一侧配置的第2反射镜基板,上述第2反射镜基板具有与上述第1反射镜相对应设置的多个第2反射镜,形成为从上述准直仪出射的光束由上述第2反射镜反射后,由上述第1反射镜反射并放射到外部,上述第1反射镜基板具备光束到达上述第2反射镜之前所通过的第1窗口,上述第2反射镜基板具备光束由上述第1反射镜反射后所通过的第2窗口,上述光束定向模块还具备沿着叠层方向贯穿叠层了的上述第1反射镜基板和上述第2反射镜基板的固定构件,上述固定构件形成为连接到上述准直仪支撑构件上。
地址 日本东京