| 发明名称 | 盘片模版制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种盘片模版制作方法，其包含清洗一基板、涂布一光阻层于基板之上、激光刻版并显影光阻层、溅镀一金属层于基板及光阻层、电铸以加厚金属层，以形成一父模版、分离光阻层及父模版、以及干式清洗父模版。 | ||
| 申请公布号 | CN1840323A | 申请公布日期 | 2006.10.04 |
| 申请号 | CN200510062533.3 | 申请日期 | 2005.03.29 |
| 申请人 | 精碟科技股份有限公司 | 发明人 | 蔡正原 |
| 分类号 | B32B5/14(2006.01);B08B7/00(2006.01);C23F1/00(2006.01);C23F4/00(2006.01) | 主分类号 | B32B5/14(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 陈肖梅;文琦 |
| 主权项 | 1.一种盘片模版制作方法，其特征在于，包含：清洗一基板；涂布一光阻层于该基板之上；激光刻版并显影该光阻层；溅镀一金属层于该基板及该光阻层；电铸以加厚该金属层，以形成一父模版；分离该光阻层及该父模版；以及干式清洗该父模版。 | ||
| 地址 | 台湾省台北县五股乡五权七路13号 | ||