发明名称 位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置
摘要 本申请涉及位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置。通过将由光纤的弯曲和/或应力引起的偏振的单模光纤影响降至最低,位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置能够高精度地探测定点或位移,光纤用来将从光源发出的光传输到探测器。本发明提供一种位移探测装置,包括发出光的光源,聚集从光源发出的光的聚光透镜,传输由聚光透镜聚集的光的光纤,消散由聚光透镜聚集的光的偏振的偏振消散元件,安装在测量目标上用来接收和衍射由光纤传输的光的衍射光栅,以及接收由衍射光栅衍射的光的光接收部,所测量目标的位移用光接收部接收到的衍射光的量来探测。
申请公布号 CN1841027A 申请公布日期 2006.10.04
申请号 CN200610071676.5 申请日期 2006.03.28
申请人 索尼株式会社 发明人 田宮英明
分类号 G01D5/30(2006.01);G01D5/38(2006.01) 主分类号 G01D5/30(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 李春晖
主权项 1.位移探测装置,包括:发出光的光源;聚集从光源发出的光的聚光透镜;传输由聚光透镜聚集的光的光纤;消散由聚光透镜聚集的光的偏振的偏振消散元件;安装在测量目标上用来接收和衍射由光纤传输的光的衍射光栅;以及用于接收由衍射光栅衍射的光的光接收部件;所述测量目标的位移用光接收部件接收到的衍射光的量来探测。
地址 日本东京