发明名称 |
位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置 |
摘要 |
本申请涉及位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置。通过将由光纤的弯曲和/或应力引起的偏振的单模光纤影响降至最低,位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置能够高精度地探测定点或位移,光纤用来将从光源发出的光传输到探测器。本发明提供一种位移探测装置,包括发出光的光源,聚集从光源发出的光的聚光透镜,传输由聚光透镜聚集的光的光纤,消散由聚光透镜聚集的光的偏振的偏振消散元件,安装在测量目标上用来接收和衍射由光纤传输的光的衍射光栅,以及接收由衍射光栅衍射的光的光接收部,所测量目标的位移用光接收部接收到的衍射光的量来探测。 |
申请公布号 |
CN1841027A |
申请公布日期 |
2006.10.04 |
申请号 |
CN200610071676.5 |
申请日期 |
2006.03.28 |
申请人 |
索尼株式会社 |
发明人 |
田宮英明 |
分类号 |
G01D5/30(2006.01);G01D5/38(2006.01) |
主分类号 |
G01D5/30(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
李春晖 |
主权项 |
1.位移探测装置,包括:发出光的光源;聚集从光源发出的光的聚光透镜;传输由聚光透镜聚集的光的光纤;消散由聚光透镜聚集的光的偏振的偏振消散元件;安装在测量目标上用来接收和衍射由光纤传输的光的衍射光栅;以及用于接收由衍射光栅衍射的光的光接收部件;所述测量目标的位移用光接收部件接收到的衍射光的量来探测。 |
地址 |
日本东京 |