发明名称 |
半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种半导体器件,包括:第一导电类型的半导体衬底;第一导电类型的阱,其形成于半导体衬底中;晶体管,其形成于阱中;第二导电类型的扩散区,其形成于半导体衬底中,以覆盖阱的侧面和底面;端子,其形成于半导体衬底上扩散区的外部;以及导电区,其与阱相接触,阱通过导电区和半导体衬底与端子欧姆接触,导电区的杂质浓度水平超过半导体衬底的杂质浓度水平。 |
申请公布号 |
CN1841738A |
申请公布日期 |
2006.10.04 |
申请号 |
CN200510089596.8 |
申请日期 |
2005.08.05 |
申请人 |
富士通株式会社 |
发明人 |
田中琢尔;野村浩;入山靖德 |
分类号 |
H01L27/04(2006.01);H01L21/822(2006.01);H01L21/761(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/04(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
张龙哺;郑特强 |
主权项 |
1.一种半导体器件,其特征在于:第一导电类型的半导体衬底;所述第一导电类型的阱,其形成于所述半导体衬底中;晶体管,其形成于所述阱中;第二导电类型的扩散区,其形成于所述半导体衬底中,以覆盖所述阱的侧面和底面;端子,其形成于所述半导体衬底上所述扩散区的外部;以及导电区,其与所述阱相接触,所述阱通过所述导电区和所述半导体衬底与所述端子欧姆接触,所述导电区的杂质浓度水平超过所述半导体衬底的杂质浓度水平。 |
地址 |
日本神奈川县 |