发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本发明提供一种半导体器件,包括:第一导电类型的半导体衬底;第一导电类型的阱,其形成于半导体衬底中;晶体管,其形成于阱中;第二导电类型的扩散区,其形成于半导体衬底中,以覆盖阱的侧面和底面;端子,其形成于半导体衬底上扩散区的外部;以及导电区,其与阱相接触,阱通过导电区和半导体衬底与端子欧姆接触,导电区的杂质浓度水平超过半导体衬底的杂质浓度水平。
申请公布号 CN1841738A 申请公布日期 2006.10.04
申请号 CN200510089596.8 申请日期 2005.08.05
申请人 富士通株式会社 发明人 田中琢尔;野村浩;入山靖德
分类号 H01L27/04(2006.01);H01L21/822(2006.01);H01L21/761(2006.01) 主分类号 H01L27/04(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 张龙哺;郑特强
主权项 1.一种半导体器件,其特征在于:第一导电类型的半导体衬底;所述第一导电类型的阱,其形成于所述半导体衬底中;晶体管,其形成于所述阱中;第二导电类型的扩散区,其形成于所述半导体衬底中,以覆盖所述阱的侧面和底面;端子,其形成于所述半导体衬底上所述扩散区的外部;以及导电区,其与所述阱相接触,所述阱通过所述导电区和所述半导体衬底与所述端子欧姆接触,所述导电区的杂质浓度水平超过所述半导体衬底的杂质浓度水平。
地址 日本神奈川县