| 发明名称 | 器件制造装置和器件的制造方法以及电子设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种器件制造装置和器件制造方法。该器件制造装置(IJ)具有：喷出包含功能性材料的液状体的喷头(1)、支撑被喷到液状体的基板(P)并可以相对喷头(1)进行移动的台面装置(2)、运送基板(P)的运送装置(3)、检测从形成在喷头(1)上的喷嘴(11)喷出的液状体的喷出状态的检测装置(30)、在运送基板(P)的动作中、控制检测装置(30)进行检测动作的控制装置(CONT)。 | ||
| 申请公布号 | CN1277689C | 申请公布日期 | 2006.10.04 |
| 申请号 | CN200310101492.5 | 申请日期 | 2003.10.21 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 神山信明;高桥隼人 |
| 分类号 | B41J29/38(2006.01);B41J2/01(2006.01);G02F1/13(2006.01) | 主分类号 | B41J29/38(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1.一种器件制造装置，其特征在于：具有：喷出包含功能性材料的液状体的喷头、支撑被喷射所述液状体的基板并可以相对所述喷头移动的台面装置、运送所述基板的运送装置、被设置在与所述台面装置不同的位置上并检测从形成在所述喷头上的喷嘴喷出的所述液状体的喷出状态的检测装置、从所述台面装置向所述检测装置可以移动所述喷头的驱动装置、和在运送所述基板的期间，执行由所述检测装置进行检测动作的控制装置。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||