| 发明名称 | 激光退火装置及其应用 | ||
| 摘要 | 一种激光退火装置及其应用，以针对有激光照射区域的气氛作稳定的控制，其装置具有一腔体、配置于腔体内的一气流导向喷头、一个发射通过气流导向喷头的激光束的激光光源，以及与气流导向喷头相连通的一气体供应装置，用以输送气体到激光束所照射的位置，并将激光束照射时所产生的有害气体一起带走。 | ||
| 申请公布号 | CN1278396C | 申请公布日期 | 2006.10.04 |
| 申请号 | CN03100867.4 | 申请日期 | 2003.01.23 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 曹义昌 |
| 分类号 | H01L21/324(2006.01);H01L21/477(2006.01);C30B33/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/324(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1.一种激光退火装置，其特征是，该装置包括：一腔体；一可移动装置，配置于该腔体内；一气流导向喷头，配置于该腔体内，且接近该可移动装置；一激光光源，其发射一激光束到该腔体内，该激光束通过该气流导向喷头而照射在该可移动装置上；以及一气体供应装置，与该腔体内的该气流导向喷头相连通，其输送气体到该激光束所照射的该可移动装置上的一位置。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行二路一号 | ||