发明名称 |
氯化铜蚀刻废液的精制方法和精制氯化铜溶液 |
摘要 |
本发明涉及用简便的操作且低成本地除去作为有效金属的铜以外的杂质金属,对蚀刻铜材料后的氯化铜蚀刻废液进行精制的方法。已知使锌、铁等金属的阴离子性配位体与弱碱性阴离子交换树脂接触而被除去。另一方面,氯化铜蚀刻废液中的作为有效金属的铜作为阴离子性配位体存在,但本发明人发现氯化铜蚀刻废液中铜的阴离子性配位体,即使与强或弱碱性阴离子交换树脂接触也几乎不被吸附。因此,由使氯化铜蚀刻废液接触于这些阴离子交换树脂,铁和锌等的阴离子性配位体被该树脂吸附并将其除去,因为铜依然残留在液体中,所以,可以精制氯化铜蚀刻废液。 |
申请公布号 |
CN1840738A |
申请公布日期 |
2006.10.04 |
申请号 |
CN200610066930.2 |
申请日期 |
2006.03.30 |
申请人 |
鹤见曹达株式会社 |
发明人 |
松木诗路士 |
分类号 |
C23F1/18(2006.01);C01G3/05(2006.01) |
主分类号 |
C23F1/18(2006.01) |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
1.一种氯化铜蚀刻废液的精制方法,该方法对蚀刻铜材料后的氯化铜蚀刻废液进行精制,得到氯化铜溶液,其特征在于:在不生成铜氢氧化物固体成分的pH值范围内,使所述蚀刻废液与弱碱性阴离子交换树脂或强碱性阴离子交换树脂接触,使杂质金属吸附在所述树脂上并将其除去,得到精制氯化铜溶液。 |
地址 |
日本神奈川 |