检查装置、摄像装置以及检查方法

摘要

本发明是关于一种检查装置、摄像装置及检查方法，该检查装置包括：照明光学系统，将照射光照射到被检查体；被检查体装载台，使被检查体沿与照射光照射方向交叉的第1方向移动；存储式传感器，将被检查体的穿透图像或者反射图像转换为电信号；传感器驱动部，使存储式传感器在与上述照射方向以及上述第1方向交叉的第2方向移动；变动量检测部，检测被检查体装载台的上述第2方向变动量；控制部，基于由该变动量检测部检测的第2方向变动量而控制传感器驱动部向第2方向的驱动量；参照数据生成部，生成被检查体的参照数据；以及数据比较部，将被检查体的穿透图像数据或者反射图像数据与上述参照数据加以比较，检测被检查体的缺陷。

主权项

1.一种检查装置，其包括：照明光学系统，其将照射光照射到被检查体；被检查体装载台，其使上述被检查体沿与上述照射光的照射方向交叉的第1方向移动；存储式传感器，其将上述被检查体的穿透图像或者反射图像转换为电信号；传感器驱动部，其使上述存储式传感器在与上述照射方向以及上述第1方向交叉的第2方向移动；变动量检测部，其检测上述被检查体装载台的上述第2方向变动量；控制部，其基于由该变动量检测部检测的第2方向变动量而控制上述传感器驱动部向第2方向的驱动量；参照数据生成部，其生成上述被检查体的参照数据；以及数据比较部，其将上述被检查体的穿透图像数据或者反射图像数据与上述参照数据加以比较，检测上述被检查体的缺陷。