渐变式光学薄膜镀制装置及其冶工具套环

摘要

本发明涉及一种渐变式光学薄膜镀制装置，包括一镀材源，一基板位于镀材源的上侧，基板可绕一中心轴线旋转，基板的镀膜面朝向镀材源，该镀膜面可接收镀材源的镀材并于其上形成镀膜，其中基板的镀膜面上设置一遮板，该遮板的高度、厚度、及其与基板的夹角由镀膜层的渐变斜率及渐变范围决定。

主权项

1.一种渐变式光学薄膜镀制装置，包括一镀材源，至少一个基板位于镀材源的一侧，基板的镀膜面朝向镀材源，该镀膜面可接收镀材源的镀材并于其上形成镀膜，其特征在于：靠近于基板的镀膜面的一侧设置有一遮板，该遮板具有特定的高度及厚度，并与基板间具有一特定的夹角，通过控制遮板的高度、厚度及其与基板间的夹角可以控制镀膜层的渐变斜率及渐变范围。