条纹计测装置的变换系数校正方法和装置及条纹计测装置

摘要

本发明提供一种条纹计测装置的变换系数校正方法和装置以及具备该变换系数校正装置的条纹计测装置。能够将在条纹计测装置中设定的用于从计测空间的坐标系变换至实空间的坐标系的变换系数的值，容易且短时间内进行校正。将具有以相互形成的角度成为基准值的方式构成的两个反射面(31、32)的校正用夹具(3)进行设置，利用条纹计测装置拍摄担载有2个反射面(31、32)的每个的倾斜度信息的一个条纹图像。基于该一个条纹图像，求出在计测空间坐标系中的2个反射面(31、32)形成的角度的计算值，按照该计算值在规定的单位系下与基准值一致的方式校正变换系数的值。

主权项

1.一种条纹计测装置的变换系数校正方法，是对担载有被计测面的相位信息的条纹图像进行拍摄并基于该条纹图像进行所述被计测面的计测的条纹计测装置中所设定的变换系数进行校正的方法，其中，所述变换系数是用于从计测空间的坐标系变换至实空间的坐标系的变换系数，所述条纹计测装置的变换系数校正方法的特征在于，按顺序进行以下步骤：校正用夹具设置步骤，将具有按照相互形成的角度在所述实空间中取规定的基准值的方式构成的至少2个反射面的校正用夹具，以能够利用所述条纹计测装置将担载所述2个反射面的每个的倾斜度信息的一个条纹图像进行拍摄的方式进行设置；条纹图像拍摄步骤，利用所述条纹计测装置，拍摄所述一个条纹图像；角度计算步骤，基于被拍摄的所述一个条纹图像，求出在所述计测空间的坐标系中的所述2个反射面所形成的角度的计算值；和校正步骤，按照所述基准值和所述计算值在规定的单位系下相互一致的方式校正所述变换系数的值。