| 发明名称 |
Method and apparatus for testing semiconductor wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1286389(B1) |
申请公布日期 |
2006.10.04 |
| 申请号 |
EP20020078482 |
申请日期 |
2002.08.22 |
| 申请人 |
SOLID STATE MEASUREMENTS, INC. |
发明人 |
ALEXANDER, WILLIAM J. |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;G01R31/28;H01J61/16;H01J61/20;H01J61/33;H01J61/88;H01L21/68 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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