由于改进的回归移动而具有减少的额外振动的加速度计

摘要

本发明涉及一种包括移动质量(5)和固定部分(2)的加速度计，该加速度计使用电容(3，4)的变化以便检测质量(5)的移动。本发明的加速度计包括第一系列电极(3，4)，它们稳固地连接到质量(5)并且与稳固地连接到固定部分(2)的一系列电极(3，4)相互交错。根据本发明，每个移动电极(4)与相邻的固定电极(3)一起形成根据移动质量(5)的位置来变化的电容。该加速度计进一步包括电子电路，该电子电路用以：(i)以移动质量移位指示器的形式来检测移动质量(5)与固定部分(2)之间至少一个电容的变化，以及(ii)生成静电应力以便使质量(5)回归到其初始位置。而且，前述电子电路被设置用于以自动地受控于先前移位测量的方式来生成静电回归应力。本发明的特征在于，这样生成的反复回归力被专门地选择以使其机械功率频谱(10，20)在移动质量(5)和/或固定部分(2)的电极(4)的机械共振频率处具有基本上为零的功率区。

主权项

1.一种加速度计，具有移动质量(5)和固定部分(2)，使用电容(3，4)的变化以便检测质量(5)的移动，其中固定地连接到质量(5)的第一系列电极(3，4)与固定地连接到固定部分(2)的一系列电极(3，4)相互交错，每个移动电极(4)与相邻的固定电极(3)一起形成取决于移动质量(5)的位置的可变电容，该加速度计进一步包括电子电路，该电子电路被设置用于作为移动质量的移位的指示器来检测移动质量(5)与固定部分(2)之间至少一个电容的变化，并且还用以生成用于使质量(5)回归到它的初始位置的静电力，该电子电路被设置用于以受控于先前移位测量的方式来生成静电回归力，特征在于，这样生成的反复回归力被专门地选择以使它的频率机械功率谱(10，20)在移动质量(5)和/或固定部分(2)的电极(4)的机械共振频率处具有基本上为零的功率区。