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发明名称 A DETECTION DEVICE FOR PATTERN DEFECTS
摘要
申请公布号 KR20060103659(A) 申请公布日期 2006.10.04
申请号 KR20050025481 申请日期 2005.03.28
申请人 GREEN OPTICS CO., LTD. 发明人 CHO, HYUN IL;PARK, HAK JU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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