用于激光系统中偏转单元的包括金刚石基底的反射镜、用于制造该反射镜的方法及用于激光系统的偏转单元

摘要

公开了一种用于激光系统中的电流偏转单元(3，4)的反射镜(42)。所述反射镜(42)包含一个由金刚石材料制成的反射镜基底(10)，该反射镜基底也可以由较小的金刚石部分结合而成。根据本发明的金刚石基底(10)与常规的反射镜基底(32)相比具有较高的刚性和较小的厚度(d2)，因此在激光系统中可以有较高的工作速度。

主权项

1.一种用于激光系统中偏转单元的反射镜，包括一个至少在一侧上包含反射表面(11)的平的反射镜基底(10；20)，其特征在于，所述的反射镜基底(10；20)是由金刚石制成的。