| 发明名称 |
Inspection method and device for active matrix |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1365632(B1) |
申请公布日期 |
2006.10.04 |
| 申请号 |
EP20030011065 |
申请日期 |
2003.05.20 |
| 申请人 |
WINTEST CORPORATION |
发明人 |
NARA, SHOJI;JIANG, HUI;YAMAMOTO, WATARU |
| 分类号 |
G09F9/30;G01R31/00;H05B33/08;G09F9/00;G09G3/00;G09G3/20;G09G3/30;G09G3/32;H01L27/32;H01L51/50 |
主分类号 |
G09F9/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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