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经营范围
发明名称
Semiconductor manufacture process exhaustion damper gear
摘要
申请公布号
KR200427956(Y1)
申请公布日期
2006.10.04
申请号
KR20060020388U
申请日期
2006.07.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;H01L21/00
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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