用于射束漂移补偿的设备和方法

摘要

提供了用于维持准直光束的希望位置的设备和方法。光学系统包括可移动地安置在射束路径中的一个或多个无源光学元件。射束位置对无源光学元件中的至少一个的移动敏感。射束的实际位置被检测并和希望的射束位置比较。生成误差信号，并且作为对无源光学元件中的一个或多个的移动的响应，改变射束路径。在进一步的方面中，提供诸如衍射光学装置之类的射束整形光学装置，以整形传感的射束部分。在进一步的其他方面中，可以监视激光器的热状态，并且提供热映射图，以自动补偿由热状态引起的估计的射束漂移。

主权项

1.一种用于维持激光束的希望位置的设备，包括：光学系统，其包括可移动地安置在射束的路径中的一个或多个无源光学元件，所述射束的位置对所述无源光学元件中的至少一个的移动敏感；检测器装置，用于检测射束的实际位置；比较装置，用于比较射束的实际位置和射束的希望位置，并且生成表示射束的检测到的实际位置和射束的希望位置之间的差的误差信号；用于移动所述一个或多个可移动的无源光学元件中的至少一个的装置，由此射束的光路响应于所述移动而被改变；以及位置控制器，其响应从比较装置接收的误差信号，并且用于向所述用于移动所述一个或多个可移动的无源光学元件中的至少一个的装置生成输出信号，以便所述射束被转移到希望的射束位置。