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"MéTODO DE FABRICAçãO DE UM COMPONENTE PARA APARELHO DE DEPOSIçãO DE GOTìCULAS". Um componente de placa de bocal é fabricado pela formação de uma camada de fotoresistivo sobre um substrato e seletivamente expor e remover material a fim de definir um array de corpos distintos. o níquel é, então, eletroformado ao redor do corpo para formar uma placa com bocais subseqüentemente formados por ablação através do fotoresistivo. O processo pode ser essencialmente repetido para formar uma estrutura de guarda ao redor de cada bocal. |
