发明名称 HIGH-FLOW MICROVALVE
摘要 <p>A method for achieving high flow in valves with small actuation distance is described. A detailed description for a silicon microvalve is provided. An algorithm is described for designing optimized valves.</p>
申请公布号 KR20060103503(A) 申请公布日期 2006.10.02
申请号 KR20067008271 申请日期 2006.04.28
申请人 REDWOOD MICROSYSTEMS, INC. 发明人 HENNING ALBERT K.;SELSER MICHAEL;COZAD BRADFORD A.
分类号 F16K11/04;F15C5/00;F16K;F16K1/42;F16K7/00;F16K11/02;F16K99/00 主分类号 F16K11/04
代理机构 代理人
主权项
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