摘要 |
本发明系藉由在广范围取得对应力电压合计时间之电流值的测量结果,来提供可进行高精密度之寿命预测的可靠性测量方法。前述问题可藉由本发明之可靠性测量方法及使用有该方法之装置来解决,而该可靠性测量方法包含有:第1步骤,在被测量物上施加预定时间之第1电压后,再施加第2电压并测量流经前述被测量物之电流值;第2步骤,对同一被测量物连续实行2次以上第1步骤;第3步骤,对复数被测量物依序实行第2步骤;第4步骤,对同一被测量物实行1次或连续实行2次以上第1步骤;第5步骤,在第3步骤实行后,对复数被测量物依序实行第4步骤;及第6步骤,对每一被测量物,求出施加第1电压之合计时间与电流值的相关关系。 |