光罩、倍缩光罩以及其形成方法

摘要

一种形成光罩之方法，用以改善光罩之静电放电防护能力，其包括：提供一具有上表面之基底，该基底对一既定辐射具有穿透性；于该基底上形成一光感应层；图案化与蚀刻光感应层以形成一位于该光感应层之开口图案；依据位于该光感应层之开口图案，蚀刻该基底；剥除该光感应层；然后 积一不透光层于该图案化基底之上表面与该开口图案中；从该基底之上表面移除多余之不透光层以平坦化该基底；于该基底之上表面黏合一薄膜。