| 主权项 |
1.一种负型光敏性树脂组成物,其包含选自多价酚缩水甘油醚或其低聚物或聚合物之环氧化合物;具有数目平均分子量为350至1200之酚-联苯树脂;不含前述酚-联苯树脂及任何环氧基,且具有重量平均分子量为2000至60000之酚醛清漆树脂;其中该环氧化合物重量相对于酚醛清漆树脂及酚-联苯树脂之总重之比为0.5:1至2:1;以及该酚-联苯树脂之含量为酚醛清漆树脂与酚-联苯树脂总重之1至75重量%。2.如申请专利范围第1项之负型光敏性树脂组成物,其中该酚-联苯树脂占酚醛清漆树脂与酚-联苯树脂总重之5至45重量%。3.一种形成光阻图案之方法,其包含于一基材上涂覆一层如申请专利范围第1项之负型光敏性树脂组成物,接着将涂覆于该基材上之负型光敏性树脂组成物曝光及显影,以形成光阻图案。 |
