发明名称 电镀液与电镀方法
摘要 本发明提供一种电镀液,包括:电解质溶液与胺基环氧乙烷–环氧丙烷共聚物(amine–based EO–PO copolymer),且该胺基共聚物至少含有重量比例70%之环氧丙烷(PO)。本发明更包括利用上述电镀液所进行之电镀方法。
申请公布号 TW200634181 申请公布日期 2006.10.01
申请号 TW094143573 申请日期 2005.12.09
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 石健学;苏鸿文
分类号 C25D3/02;H01L21/288 主分类号 C25D3/02
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号