发明名称 一维奈米材料器件及其制造方法
摘要 本发明涉及一维奈米材料器件及其制造方法。该一维奈米材料器件之制造方法包括:提供一含有一维奈米材料之溶液;提供两个相对之导电体,并使其相对之两末端间隔一距离;对该两导电体施加一交流电压,并使该两末端共同浸入该溶液中,直到至少一根一维奈米材料组装至该两末端之间;将所得到之由一维奈米材料组装于一起之两导电体末端分离,以得到至少一个装有一维奈米材料之导电体末端。该方法耗时短、效率高且可控性强,避免先前技术中组装时间长且可控性差之问题。还提供有该制造方法制成之一维奈米材料器件,其分别可用作原子力显微镜之探针以及微型感测器。
申请公布号 TWI262895 申请公布日期 2006.10.01
申请号 TW094110560 申请日期 2005.04.01
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 魏洋;范守善
分类号 C01B31/02 主分类号 C01B31/02
代理机构 代理人
主权项 1.一种一维奈米材料器件之制造方法,包括以下步骤:提供一含有一维奈米材料之溶液;提供两个相对之导电体,并使其相对之两末端间隔一距离;对该两导电体施加一交流电压,并使该两末端共同浸入该溶液中,直到至少一根一维奈米材料组装至该两末端之间;施加一外部能量将所得到之由一维奈米材料组装于一起之两导电体末端分离,以得到至少一个装有一维奈米材料之导电体末端。2.如申请专利范围第1项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之含有一维奈米材料之溶液以异丙醇为溶剂。3.如申请专利范围第1项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之含有一维奈米材料之溶液含有用作稳定剂之乙基纤维素。4.如申请专利范围第1项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之相对之两末端中,至少一末端为锥形、柱形或圆台形。5.如申请专利范围第1项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之距离与该一维奈米材料之长度相应。6.如申请专利范围第1项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之距离于10微米以内。7.如申请专利范围第1项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之交流电压之峰値于10伏以内。8.如申请专利范围第1项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之外部能量为雷射、电流或机械外力,能使两导电体末端分离。9.如申请专利范围第1至8任一项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,其进一步包括以下步骤:监控组装过程,以确定一维奈米材料组装于该两末端之间。10.如申请专利范围第9项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之监控方法包括:于两导电体所在之电路中安装一装置用以监测该两末端之间系否为通路。11.如申请专利范围第10项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之监控方法包括:于两导电体所在之电路中串联一个电阻;于该电阻两端并联一示波器。12.如申请专利范围第1至8任一项所述之一维奈米材料器件之制造方法,其中,所述之一维奈米材料选自奈米碳管、奈米矽线、奈米碳线、奈米氧化锌管或奈米金管。13.一种一维奈米材料器件,包括一导电末端,其特征在于,一维奈米材料附着于该导电末端之表面并向该表面以外延伸,并且该一维奈米材料沿其轴向大致系直的。14.如申请专利范围第13项所述之一维奈米材料器件,其中,所述之一维奈米材料器件为原子力显微镜之探针。15.如申请专利范围第13或14项所述之一维奈米材料器件,其中,所述之一维奈米材料选自奈米碳管、奈米矽线、奈米碳线、奈米氧化锌管或奈米金管。图式简单说明:第一图为本发明实施例之奈米碳管器件之制造方法之装置示意图;第二图为本发明实施例之组装于两末端之间之奈米碳管之光学显微镜照片;第三图为本发明实施例之组装于一末端之奈米碳管之扫描隧道显微镜照片;第四图为本发明另一实施例之奈米碳管器件之制造方法之装置示意图。
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