摘要 |
一种半导体影像感测器,包含:一半导体基材具有多数像元呈矩阵状列设,该半导体基材含有一第一区包含一光电二极体的电荷积存区和一浮动扩散区,及一第二区包含多数电晶体各具有一闸极电极和源极/汲极区;一第一氧化矽膜设在该半导体基材上方,而覆盖第一区中之电荷积存区的表面,并形成第二区中之至少某些电晶体的闸极电极侧壁上之侧壁间隔物;及一氮化矽膜设在第一氧化矽膜的上方,而覆盖第二区中的源极/汲极区,并在第一区中之电荷积存区上方的至少一区域处设有一开孔。所形成的半导体影像感测器会具有高敏感度,且能提供具有低杂讯的输出。 |