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发明名称
由一配置于基材上的固化层分离模的方法
摘要
本发明系有关由一设在一基材上的料层分开一包含在一模板中之模的方法,该方法包括:施加一分离力于该模板以使该模板与料层分开;及促成该基材中的局部变形以减少达成分离所须的分离力。
申请公布号
TW200633846
申请公布日期
2006.10.01
申请号
TW095102094
申请日期
2006.01.19
申请人
分子压模公司
发明人
崔炳镇;查拉 安苏曼;崔永峻;麦斯尔;史瑞尼瓦森;舒玛克;卢晓明;麦克马克金
分类号
B29C59/02;H01L21/68
主分类号
B29C59/02
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
地址
美国
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