LiCoO2的沉积

摘要

依据本发明，系提出一种在脉冲直流物理气相沉积方法中之LiCoO2层的沉积。此一沉积方法可以提供低温、高沉积速率之具有所欲＜101＞或＜003＞位向之LiCoO2结晶层的沉积。一些沉积方法的具体例，则透露出对于可用作为固态可再充Li电池中阴极层之LiCoO2膜的快速沉积之需求。本发明方法的具体例可以省却如将LiCoO2层结晶化所需的高温(＞700℃)退火步骤。本发明方法的一些具体例，可藉由利用斜坡速率短的快速热退火方法而改良使用该LiCoO2层的电池。