曝光装置及利用此装置进行基板与光罩定位之方法

摘要

一种曝光装置及利用此装置进行基板与光罩定位之方法，此装置包含有：光罩载物台，其中光罩载物台包含光罩固定台，以固定支撑光罩；基座台，以支撑光罩固定台；以及至少一个引导单元，配置在基座台中，与光罩固定台连接，用于移动光罩固定台，进而沿预定方向移动光罩。