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经营范围
发明名称
optical thin film deposition apparatus
摘要
申请公布号
KR100629653(B1)
申请公布日期
2006.09.29
申请号
KR20040082630
申请日期
2004.10.15
申请人
发明人
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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