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经营范围
发明名称
Semiconductor manufacturing equipment
摘要
申请公布号
KR100629365(B1)
申请公布日期
2006.09.29
申请号
KR20040117860
申请日期
2004.12.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/68;H01L21/66
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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