System for fabricating semiconductor device,申请号KR19990052774-传众专利搜索

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发明名称	System for fabricating semiconductor device
摘要
申请公布号	KR100629256(B1)	申请公布日期	2006.09.29
申请号	KR19990052774	申请日期	1999.11.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/00	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
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