Verfahrenstechnisches Funktionselement aus einem Folienstapel

摘要

Für ein verfahrenstechnisches Funktionselement, das aus einem Stapel von mit Mikrostrukturen versehenen Folien oder Platten ausgebildet ist, wird zumindest auf einer Seite der Folien eine Dünnfilmbeschichtung vorgesehen, die sich von der beschichteten Seite aus in die Mikrostrukturen hineinerstreckt, so dass die Dünnfilmbeschichtung sowohl eine Flächendichtung zwischen aufeinander liegenden Folien bildet als auch eine Schutzschicht für das Material der Folien gegen aggressive Medien.