| 发明名称 |
LADUNGSKONTROLL- UND DOSIMETRIESYSTEM SOWIE VERFAHREN FÜR EINEN GAS-CLUSTER-IONENSTRAHL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60122379(D1) |
申请公布日期 |
2006.09.28 |
| 申请号 |
DE20016022379 |
申请日期 |
2001.12.26 |
| 申请人 |
EPION CORP. |
发明人 |
MACK, MICHAEL E.;LIBBY, BRUCE K. |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/317;H01J37/02;H01J37/244;H01J37/304 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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