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Eine Scanvorrichtung zur Fokussierung eines Strahlenbündels (3) in vorgegebene Bereiche eines vorgegebenen Volumens umfaßt eine Eingangsoptik (6), in die das Strahlenbündel (3) zuerst eintritt und die wenigstens ein erstes optisches Element (11) aufweist, eine Fokussieroptik (8), mittels derer das aus der Eingangsoptik (6) ausgetretene Strahlenbündel (3) fokussierbar ist, und eine zwischen dem ersten optischen Element (11) und der Fokussieroptik (8) angeordnete Ablenkeinrichtung (7) zur Ablenkung des Strahlenbündels (3) nach Passieren des ersten optischen Elements (11) entsprechend einer einzustellenden Lage des Fokus in lateraler Richtung, wobei zur Einstellung der Lage des Fokus des Strahlenbündels (3) in Richtung des Strahlenbündels wenigstens ein optisches Element (11) der Eingangsoptik (6) relativ zu der Ablenkeinrichtung (7) bewegbar ist. |
