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发明名称 PRODUCTION METHOD OF STRAINED SILICON-SOI SUBSTRATE AND STRAINED SILICON-SOI SUBSTRATE PRODUCED BY SAME
摘要
申请公布号 KR20060103190(A) 申请公布日期 2006.09.28
申请号 KR20060026560 申请日期 2006.03.23
申请人 SUMCO CORPORATION;THE NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KYUSYU UNIVERSITY 发明人 NINOMIYA MASAHARU;MATSUMOTO KOJI;NAKAMAE MASAHIKO;MIYAO MASANOBU
分类号 H01L21/20;H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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