发明名称 Improvements relating to the production of wafers of semi-conductor material
摘要
申请公布号 GB886350(A) 申请公布日期 1962.01.03
申请号 GB19580039524 申请日期 1958.12.08
申请人 ASSOCIATED ELECTRICAL INDUSTRIES LIMITED 发明人 WEIR MARY TERESA;SMITH REX GEOFFREY HUGH
分类号 C23F1/40;H01L21/306 主分类号 C23F1/40
代理机构 代理人
主权项
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