| 摘要 |
<p>Eine Aufgabe besteht darin, eine Drucksensorvorrichtung zu schaffen, welche preisgünstig ist und eine verbesserte Langzeit-Zuverlässigkeit sowie verbesserte Genauigkeit und Zuverlässigkeit des Messsignals aufweist. Ein eine Membran (45), Piezowiderstände, eine Verstärkungsschaltung und verschiedene Anpassungsschaltungen enthaltender Drucksensor-Chip (41) ist so an ein Grundelement (42) angefügt, dass die Membran (45) einem Durchgangsloch (46) im Grundelement (42) gegenüberliegt. Das Grundelement (42) und ein metallenes Rohrelement (43) sind so zusammengefügt, dass die jeweiligen Durchgangslöcher darin miteinander kommunizieren. Ein Schutzfilm (60) ist so gebildet, dass er ein Verbindungselement zwischen dem Grundelement (42) und dem metallenen Rohrelement (43) bedeckt. Das metallene Rohrelement (43) ist an ein Kunstharzgehäuse (44) geklebt, und eine Signalklemme (58) des Kunstharzgehäuses und der Drucksensor-Chip (41) sind durch eine Drahtkontaktierung (59) elektrisch miteinander verbunden, wodurch somit eine Drucksensorzelle gebildet wird.</p> |
