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发明名称 ETCHING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060103167(A) 申请公布日期 2006.09.28
申请号 KR20060026434 申请日期 2006.03.23
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TAHARA SHIGERU;NISHINO MASARU
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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