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发明名称 ALUMINUM NITRIDE SINTERED BODY, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MEMBER, AND METHOD OF MANUFACTURING ALUMINUM NITRIDE SINTERED BODY
摘要
申请公布号 KR20060103146(A) 申请公布日期 2006.09.28
申请号 KR20060026091 申请日期 2006.03.22
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 TERATANI NAOMI;YAMADA NAOHITO
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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