Verfahren zur Herstellung räumlicher Feinstrukturen

摘要

Bei der Herstellung räumlicher Feinstrukturen mit den Schritten Ausbilden einer räumlichen Feinstruktur aus einem Material (3) und mikroskopisch Überprüfen, ob die gewünschte Feinstruktur vorliegt, wird dem Material (3) vor dem Ausbilden der Feinstruktur ein Luminophor (2) zugegeben, und zum mikroskopischen Überprüfen, ob die gewünschte Feinstruktur vorliegt, wird von dem Luminophor emittiertes Lumineszenzlicht gemessen (10).