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发明名称
摘要
申请公布号	JP3827869(B2)	申请公布日期	2006.09.27
申请号	JP19980344046	申请日期	1998.12.03
申请人		发明人
分类号	B01J19/00;B08B5/00;B01J3/00;H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	B01J19/00
代理机构		代理人
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