发明名称 一种可调谐法布里-珀罗滤波器
摘要 可调法布里-珀罗滤波器(TFPF)使用MEMS和微型光学组件的混合集成。将形成TFPF的反射镜主动地对准,以提供高精细度的TFPF。将反射器中的一个安装在挠性元件(例如两端固定的横梁式元件)上。该挠性元件可在与TFPF的轴平行的方向上弯曲,以调整反射器之间的间隙,从而对TFPF进行调谐。可将反射镜中的一个或两个设置在光纤的末端上。
申请公布号 CN1839332A 申请公布日期 2006.09.27
申请号 CN200480011441.6 申请日期 2004.04.27
申请人 罗斯蒙德公司 发明人 卢良驹
分类号 G02B6/26(2006.01) 主分类号 G02B6/26(2006.01)
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 丁业平;张天舒
主权项 1.一种可调谐光学装置,包括:第一反射器和第二反射器,其中所述第一反射器和所述第二反射器形成具有第一光轴的第一法布里-珀罗滤波器,所述第一法布里-珀罗滤波器限定所述第一反射器和所述第二反射器之间的可调间隙;弹性挠性元件,其中所述第一反射器和所述第二反射器中的一个被安装到所述挠性元件上,为了调节所述反射器之间的所述间隙,所述挠性元件在与所述第一光轴平行的方向上是可弯曲的。
地址 美国明尼苏达州